传上海微电子研发出11nm光刻机，请问是真的吗？有谁知道？，光刻机,制程工艺,微电子,芯片,科技新闻，据报道称:上海微电子将在2021年交付采用ARF光源制程工艺为28纳米的光刻机，并且次光刻机在经过多次曝光之后，可以制造出11纳米制程的芯片。目前来看，这个消息应该是真的。也就是说，国内在2021年，就有自己制造的生产28纳米制程芯片的光 ...