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硅烷是什么,有什么用途啊? 爱问知识人

硅烷是什么,有什么用途啊? 爱问知识人

基本信息:中文名称硅烷中文别名英文名称silane英文别名Silicontetrahydride;Sila-Cycrimin;Silanol,cyclopentylphenyl[2-(1-piperidinyl)ethyl];CAS号7803-62-5分子式H4Si分子量32.11730物化性质:外观性状无色储存条件库房通风低温干燥,与氧化剂、卤素分开存放熔点-185oC密度1.114沸点-112oC硅烷的用途:1.电子工业用作氮化硅、外延材料等的摻杂源。半导体超纯硅原料,是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源,并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。